يمكن القول إن الطباعة الحجرية هي أهم خطوة في تصنيع أشباه الموصلات. تعد الماسحات الضوئية EUV الحديثة اليوم آلات معقدة بشكل لا يصدق تكلف ما يصل إلى تكلفة طائرة بوينج النفاثة الجديدة.
من بدايات متواضعة في عام 1984 كمشروع مشترك مع Philips ، نمت ASML لتصبح ثاني أكبر صانع لمعدات الرقائق في العالم - والمورد الوحيد لآلات EUV.
"فقدان الطباعة الحجرية" ، حلقة في سلسلة بودكاست تشيب ووريورز، يقدم وصفًا مباشرًا لكيفية اختراع الولايات المتحدة ، ثم خسارتها ، لهذا الجزء المهم من عملية صناعة الرقائق. تستند الحلقة إلى مقابلات مع رواد في Fairchild Semiconductor و David W Mann Co و Cobilt و GCA و Nikon و Silicon Valley Group (SVG) ، من بين آخرين.
أجريت محاولات مبكرة لطباعة الصور على رقائق السيليكون في مختبرات بيل في منتصف الخمسينيات من القرن الماضي. في وقت لاحق من ذلك العقد ، قام فيرتشايلد بتحسين العملية من أجل صنع الترانزستورات.
قال جاي لاست ، أحد مؤسسي شركة فيرتشايلد ، إلى جانب بوب نويس: "قررنا استخدام مقاومة الصور من أجل تحديد المناطق".
"لقد بذلت Bell Labs بعض الجهود هناك واعتقدت أنه من المستحيل العمل معها ، لذا لم يتابعوها أبدًا. عملت أنا و Bob [Noyce] مع Kodak وقدموا لنا أفضل المقاومات التي حصلوا عليها في ذلك الوقت ، وتدريجيًا كانت لدينا علاقة عمل معهم استمرت المقاومة في التحسن بشكل مطرد.
"كان هناك الكثير من المشاكل الفنية والعوائق التقنية ، لكننا قلنا للتو أننا سنستخدم هذا وعلينا أن نجعله يعمل - وقد فعلنا ذلك."
في الستينيات من القرن الماضي ، تم استخدام محاذاة قناع التلامس لطباعة الرقاقة ، مع Kulicke & Soffa أول من قدمها تجاريًا. في وقت لاحق ، أصبحت Kasper Instruments المورد المهيمن ، ولكن عندما أسس ثلاثة مهندسين سابقين في Kasper شركتهم الخاصة ، والتي تسمى Cobilt - وتم الاستحواذ عليها من قبل شركة CAD العملاقة Computervision ومقرها بوسطن في عام 1972 - ظهر نموذج جديد لطباعة الرقائق.
"صنعت Cobilt محاذاة ميكانيكية تطبع رقاقة أشباه الموصلات بتقنية متفوقة إلى حد ما إلى مستوى اليوم. وكان لدى Computervision حزمة من المحاذاة التلقائية التي من شأنها أن تسمح لك بمحاذاة الطبقات بشكل أكثر دقة ، "قال Sam Harrell ، الذي انتقل من Computervison إلى West Coast ليكون نائب رئيس Cobilt للهندسة.
"بعنا مئات الآلات في جميع أنحاء العالم. لقد سادت حقًا حتى أصبحت فترة طابعات الإسقاط هي المهيمنة ".
رأى Ed Segal ، الذي باع مصففات في Kasper قبل الانضمام إلى Cobilt ، كيف خسر Cobilt تقدمه عندما طور Perkin-Elmer محاذاة قناع الإسقاط.
قال سيغال: "عندما انتقلت أداة تقويم القناع إلى المرحلة التالية من محاذاة قناع التلامس إلى ما يسمى بمحاذاة الإسقاط ، أو عرض صورة القناع على الرقاقة ، جاء بيركين-إلمر تمامًا واستولى على هذا السوق". . "حاول كوبيلت بناء واحد وكان حقًا فشلًا كبيرًا جدًا. وفي النهاية تم بيع الشركة إلى أبلايد ماتيريالز في عام 1981. "
أدار Jim Gallagher أعمال معدات أشباه الموصلات في GCA ، التي كانت الشركة الرائدة عالميًا في الطباعة الحجرية قبل التنازل عن السوق للشركات اليابانية في الثمانينيات. في البودكاست ، يروي زوال الشركة في نهاية المطاف بعد أن أصبح الموردون اليابانيون مثل نيكون وكانون روادًا في السوق.
بدأنا في بيع العمليات بأفضل ما نستطيع. ولكن عندما تنزل منحدرًا ، إذا جاز التعبير ، فهذا ليس الوقت المناسب لبدء البيع لأن ما تفعله هو ، الجميع يعرف مشكلتك وسيعطون أقل الأسعار وأدنىها. قال غالاغر ، "كانت هذه بداية انزلاقنا.
بحلول أواخر الثمانينيات ، كانت هيمنة موردي السائر اليابانية مصدر قلق لصانعي الرقائق الأمريكيين. في محاولة لتطوير مصدر بديل ، عملت Intel مع شركة Censor الأوروبية. ومع ذلك ، فشلت الجهود وتم بيع Censor إلى Perkin-Elmer في عام 1980.
يتذكر المؤسس المشارك لشركة Intel ، جوردون مور ، القلق في ذلك الوقت. "كان كبار السائرون يخرجون من Canon و Nikon. لم يكن هناك جهاز مماثل في الولايات المتحدة ، وكان ذلك جزءًا مهمًا من العملية برمتها.
"كان لدينا برنامج كبير مع شركة في ليختنشتاين [الرقيب] لصنع خطوة بخطوة. معقد جدًا ولكنه أيضًا مكلف للغاية ، وسار التطوير ببطء شديد بحيث لم يكن له تأثير حقيقي على السوق. انتهى بنا الأمر بشراء معدات يابانية لأنها كانت الأفضل ، ولم يكن هناك حقًا مصدر بديل لذلك ".
قام Shoichiro Yoshida ، الذي أصبح فيما بعد الرئيس التنفيذي لشركة Nikon ، بتصميم أول كاميرا خطوة وتكرار للشركة لتصنيع أشباه الموصلات. في البودكاست ، استمع إليه وهو يصف (باللغة الإنجليزية) التطور المبكر لـ steppers في نيكون.
في 1990s، توسعت SVG في الطباعة الحجرية تحت إشراف الرئيس التنفيذي المعين حديثًا Papken Der Torossian. حاولت SVG شراء GCA لكن الصفقة لم تتحقق ، وتم بيع GCA إلى General Signal في عام 1988.
ومع ذلك ، نجح Der Torossian في الحصول على الجيل التالي من نظام الخطوة والمسح ، Micrascan ، الذي طوره Perkin-Elmer بالاشتراك مع IBM - لكنه قال إنه يتطلب عشرات الملايين في البحث والتطوير وسنتين ونصف السنة إصلاح الخلل في النظام. كانت النتيجة Micrascan II.
"الآلة التي لم يعملوا بها - كان متوسط الوقت بين الفشل أقل من ساعة واحدة. لم تستطع IBM استخدامه. ولكنه كان يتمتع بتكنولوجيا أساسية جيدة جدًا.
يشرح Der Torrossian كيف أدى النقص في النقد إلى ضياع فرصة للحفاظ على الطباعة الحجرية المتقدمة في الولايات المتحدة.
في عام 92 ، كان ASML ينزف. امتلكتها شركة Philips وجاءت لشراء ASML مقابل 60 مليون دولار. لم يكن لدي 60 مليون دولار. قلت لهم ، "سأعطيكم عددًا متساويًا من الأسهم ، لذلك دعونا ننشئ مشروعًا مشتركًا." قالوا: لا ، فيليبس بحاجة إلى نقود ".
بحلول عام 2001 ، حولت ASML الأعمال وانتهى بها الأمر بشراء SVG - آخر شركة أمريكية كبرى للطباعة الحجرية - مقابل 1.6 مليار دولار. تم تأجيل الصفقة لعدة أشهر بسبب مخاوف تتعلق بالأمن القومي ، لكن في النهاية وافقت عليها إدارة جورج دبليو بوش بعد أن وافقت ASML على سحب وحدة تينسلي لابز التابعة لشركة SVG.
سلسلة بودكاست تشيب ووريورز، التي كتبها وأنتجها كريج أديسون ، تستند إلى مقابلات التاريخ الشفوي SEMI التي أجراها بين عامي 2004 و 2008. وقد تم استخدام المقابلات بموجب ترخيص من SEMI ، التي لا تنتمي إلى البودكاست.
تم تصوير رواد الطباعة الحجرية في هذه اللوحة بتكليف من SEMI في عام 1980. من اليسار ، الفريق الذي يقف وراء محاذاة قناع الإسقاط Perkin-Elmer (Abe Offner و Jere Buckley و David Markel و Harold Hemstreet) ، وعلى اليمين ، بيرت ويلر ، المخترع الرئيسي لمكرر الصور في شركة David W. Mann Co.
شارك هذا المنشور عبر: المصدر: https://semiwiki.com/lithography/304384-losing-lithography-how-the-us-invented-then-lost-a-critical-chipmaking-process/
- &
- حسابي
- الكل
- أمريكي
- من بين
- حول
- جرس
- أفضل
- مليار
- بوينغ
- البق
- نساعدك في بناء
- الأعمال
- يشترى
- شراء
- CAD
- النقد
- الرئيس التنفيذي
- رقاقة
- المؤسس المشارك
- المؤسسين
- آت
- الشركات
- حول الشركة
- يوم
- صفقة
- تطوير
- التطوير التجاري
- فعل
- في وقت مبكر
- الهندسة
- المهندسين
- عربي
- معدات
- المجلة الأوروبية
- فشل
- الاسم الأول
- حل
- العلاجات العامة
- جورج
- خير
- تجمع
- تاريخ
- كيفية
- HTTPS
- مئات
- IBM
- صورة
- التأثير
- إنتل
- مقابلات
- IT
- المشاريع المشتركة
- مختبرات
- قيادة
- ليد
- حقوق الملكية الفكرية
- الآلات
- رائد
- صانع
- تصنيع
- تجارة
- قناع
- المواد
- مليون
- المقبلة.
- الأمن القومي
- عمليات
- الفرصة
- طلب
- أخرى
- اللوحة
- نموذج
- فيليبس
- بودكاست
- رئيس
- رئيسي
- أنتج
- البرنامج
- R & D
- أمن
- بيع
- نصف
- أشباه الموصلات
- النكسات
- مشاركة
- وادي السيليكون
- So
- باعت
- المسرح
- بداية
- بدأت
- ناجح
- الموردين
- نظام
- تقني
- تكنولوجيا
- العالم
- الوقت
- us
- مشروع
- Vice President
- W
- West Side
- من الذى
- للعمل
- العالم
- سنوات
- موقع YouTube