Litograafia on vaieldamatult kõige olulisem samm pooljuhtide tootmises. Tänapäeva tipptasemel EUV-skannerid on uskumatult keerukad masinad, mis maksavad sama palju kui uus Boeingi reaktiivlennuk.
Alates tagasihoidlikust algusest 1984. aastal ühisettevõttena Philipsiga on ASML kasvanud maailma suuruselt teiseks kiibiseadmete tootjaks ja ainsaks EUV masinate tarnijaks.
"Litograafia kaotamine", episood The Chip Warriorsi taskuhäälingusaadete sarjas, annab esmase ülevaate sellest, kuidas USA leiutas, siis kaotas selle kiibivalmistusprotsessi kriitilise osa. Episood põhineb intervjuudel teiste seas Fairchild Semiconductori, David W Mann Co, Cobilti, GCA, Nikoni ja Silicon Valley Groupi (SVG) pioneeridega.
Varased katsed trükkida pilte räniplaatidele tehti Bell Labsis 1950. aastate keskel. Hiljem samal kümnendil täiustas Fairchild transistoride valmistamise protsessi.
"Otsustasime piirkondade piiritlemiseks kasutada fotoresist," ütles Jay Last, üks kaheksast Fairchildi algsest kaasasutajast koos Bob Noyce'iga.
"Bell Labs oli seal teinud mõningaid jõupingutusi ja arvas, et sellega on lihtsalt võimatu töötada, nii et nad ei teinud seda kunagi. Bob [Noyce] ja mina töötasime Kodakiga ja nad andsid meile parimad vastupanuvõimed, mis neil sel ajal olid, ja meil tekkis nendega järk-järgult töösuhe, mis tõkked pidevalt paranesid.
"Oli palju tehnilisi probleeme ja tehnilisi tagasilööke, kuid me lihtsalt ütlesime, et kavatseme seda kasutada ja peame selle toimima - ja me tegimegi."
1960. aastatel kasutati vahvliprintimiseks kontaktmaskide joondusseadmeid Kulicke & Soffa esimene, kes neid kaubanduslikult tutvustas. Hiljem sai Kasper Instruments domineerivaks tarnijaks, kuid kui kolm endist Kasperi inseneri asutasid oma ettevõtte nimega Cobilt – ja selle ostis 1972. aastal Bostonis asuv CAD-hiiglane Computervision – tekkis vahvliprintimise uus paradigma.
„Cobilt valmistas mehaanilisi joondusi, mis trükkisid pooljuhtvahvli tolleaegse tehnoloogiaga võrreldes mõnevõrra parema tehnoloogiaga. Ja Computervisionil oli automaatse joondamise pakett, mis võimaldas teil kihte täpsemalt joondada,” ütles Sam Harrell, kes kolis Computervisonist läänerannikule Cobilti inseneri asepresidendiks.
“Müüsime sadu masinaid üle maailma. See valitses tõesti seni, kuni projektsiooniprinterite periood sai domineerivaks.
Ed Segal, kes müüs Kasperis joondusi enne Cobiltiga liitumist, nägi, kuidas Cobilt kaotas edumaa, kui Perkin-Elmer töötas välja projektsioonmaski joondaja.
"Kui maski joondus jõudis järgmisse etappi kontaktmaski joondajast nn projektsioonijoondajaks või maski kujutise projitseerimiseks vahvlile, tuli Perkin-Elmer lihtsalt sisse ja võttis selle turu üle," ütles Segal. . "Cobilt üritas seda ehitada ja see oli tõesti väga suur ebaõnnestumine. Ja lõpuks müüdi ettevõte 1981. aastal ettevõttele Applied Materials.
Jim Gallagher juhtis pooljuhtseadmete äri GCA-s, mis oli enne turu loovutamist Jaapani ettevõtetele 1980. aastatel litograafia alal maailmas liider. Podcastis räägib ta ettevõtte lõplikust lõppemisest pärast seda, kui Jaapani tarnijatest, nagu Nikon ja Canon, said turuliidrid.
“Hakkasime oma tegevust võimalikult hästi maha müüma. Kuid kui lähete nii-öelda allamäge, pole aeg müüma hakata, sest kõik teavad teie probleemi ja pakuvad kõige madalamaid hindu. Nii et see oli meie slaidi algus, ”ütles Gallagher.
1980. aastate lõpuks valmistas Jaapani stepperitarnijate domineerimine Ameerika kiibitootjatele muret. Alternatiivse allika väljatöötamiseks tegi Intel koostööd Euroopa ettevõttega Censor. Ent pingutus ebaõnnestus ja Censor müüdi 1984. aastal Perkin-Elmerile.
Inteli kaasasutaja Gordon Moore meenutab toonast muret. "Canonist ja Nikonist tulid välja suured sammud. USA-s polnud võrreldavat seadet ja see oli kogu protsessi nii kriitiline osa.
„Meil oli Liechtensteini ettevõttega [Censor] suur programm stepperi valmistamiseks. Väga keerukad, kuid ka väga kallid ning arendus läks liiga aeglaselt, et nad saaksid turgu tõeliselt mõjutada. Lõppkokkuvõttes ostsime Jaapani varustust, kuna see oli parim saadaolev, ja selleks polnud tegelikult alternatiivset allikat.
Shoichiro Yoshida, kellest sai hiljem Nikoni tegevjuht, kavandas ettevõtte esimese pooljuhtide tootmiseks mõeldud samm- ja korduskaamera. Kuulake podcastis, kuidas ta kirjeldab (inglise keeles) stepperite varajast arengut Nikonis.
In 1990s, SVG laienes litograafiale äsja ametisse nimetatud tegevjuhi Papken Der Torossiani juhtimisel. SVG oli püüdnud GCA-d osta, kuid tehing ei realiseerunud ja GCA müüdi 1988. aastal General Signalile.
Siiski õnnestus Der Torossianil omandada järgmise põlvkonna samm- ja skannimissüsteem Micrascan, mille töötas välja Perkin-Elmer koostöös IBM-iga – kuid tema sõnul on selleks vaja kümneid miljoneid uurimis- ja arendustegevust ning kaks ja pool aastat. parandada vead süsteemis. Tulemuseks oli Micrascan II.
„Masin, mis neil oli, ei töötanud – rikke vaheline aeg oli alla ühe tunni. IBM ei saanud seda kasutada. Aga sellel oli väga hea põhitehnoloogia,” rääkis ta.
Der Torrossian selgitab, kuidas sularahapuudus viis kasutamata võimaluseni hoida USA-s täiustatud litograafiat.
Aastal 92 veritses ASML. Philips omas neid ja tuli minu juurde, et osta ASML 60 miljoni dollari eest. Mul ei olnud 60 miljonit dollarit. Ütlesin neile: "Ma annan teile võrdse arvu aktsiaid, nii et teeme ühisettevõtte." Nad vastasid: "Ei, Philips vajab sularaha."
2001. aastaks oli ASML äri ümber pööranud ja ostis SVG – viimase suurema USA litograafiaettevõtte – 1.6 miljardi dollari eest. Tehing viibis mitu kuud riikliku julgeolekuga seotud probleemide tõttu, kuid lõpuks kiitis selle heaks George W. Bushi administratsioon pärast seda, kui ASML nõustus loovutama SVG Tinsley Labsi üksust.
Chip Warriorsi taskuhäälingusaadete sari, mille kirjutas ja produtseeris Craig Addison, põhineb SEMI suulise ajaloo intervjuudel, mille ta viis läbi aastatel 2004–2008. Intervjuusid on kasutatud SEMI litsentsi alusel, mis ei ole podcastiga seotud.
Sellel SEMI poolt 1980. aastal tellitud maalil on kujutatud litograafia pioneere. Vasakult Perkin-Elmeri projektsioonimaski joondaja meeskond (Abe Offner, Jere Buckley, David Markel ja Harold Hemstreet) ning paremal Burt Wheeler, fotoreiiteri peamine leiutaja David W. Mann Co.
Jaga seda postitust: Allikas: https://semiwiki.com/lithography/304384-losing-lithography-how-the-us-invented-then-lost-a-critical-chipmaking-process/
- &
- konto
- Materjal: BPA ja flataatide vaba plastik
- ameerika
- vahel
- ümber
- Kell
- BEST
- Miljard
- Boeing
- vead
- ehitama
- äri
- ostma
- Ostmine
- CAD
- Raha
- tegevjuht
- kiip
- Asutaja
- kaasasutajad
- tulevad
- Ettevõtted
- ettevõte
- päev
- tegelema
- arendama
- & Tarkvaraarendus
- DID
- Varajane
- Inseneriteadus
- Inseneride
- Inglise
- seadmed
- Euroopa
- ebaedu
- esimene
- Määrama
- Üldine
- George
- hea
- Grupp
- ajalugu
- Kuidas
- HTTPS
- sajad
- IBM
- pilt
- mõju
- Intel
- intervjuud
- IT
- ühisettevõte
- Labs
- viima
- Led
- litsents
- masinad
- peamine
- tegija
- tootmine
- Turg
- mask
- materjalid
- miljon
- kuu
- rahvuslik julgeolek
- Operations
- Võimalus
- et
- teised
- maali
- paradigma
- Philips
- podcast
- president
- Peamine
- Toodetud
- Programm
- R & D
- turvalisus
- müüma
- Semi
- pooljuht
- Tagasilöögid
- Aktsiad
- Silicon Valley
- So
- müüdud
- Stage
- algus
- alustatud
- edukas
- Tarnijate
- süsteem
- Tehniline
- Tehnoloogia
- maailm
- aeg
- us
- ettevõtmine
- Asepresident
- W
- Läände
- WHO
- Töö
- maailm
- aastat
- youtube