Litografia on epäilemättä tärkein vaihe puolijohteiden valmistuksessa. Nykypäivän huippuluokan EUV-skannerit ovat uskomattoman monimutkaisia koneita, jotka maksavat yhtä paljon kuin uusi Boeing-suihkukone.
ASML on kasvanut vaatimattomasta alusta vuodesta 1984 yhteisyrityksenä Philipsin kanssa maailman toiseksi suurimmaksi sirulaitteiden valmistajaksi – ja ainoaksi EUV-koneiden toimittajaksi.
"Litografian menettäminen", jakso The Chip Warriors -podcast-sarjassa, tarjoaa ensikäden selvityksen siitä, kuinka Yhdysvallat keksi, sitten menetti, tämän kriittisen osan sirujen valmistusprosessia. Jakso perustuu haastatteluihin muun muassa Fairchild Semiconductorin, David W Mann Co:n, Cobiltin, GCA:n, Nikonin ja Silicon Valley Groupin (SVG) kanssa.
Varhaiset yritykset tulostaa kuvia piikiekkoille tehtiin Bell Labsissa 1950-luvun puolivälissä. Myöhemmin saman vuosikymmenen aikana Fairchild paransi prosessia valmistaakseen transistoreita.
"Päätimme käyttää valokuvaresistiä alueiden rajaamiseen", sanoi Jay Last, yksi Fairchildin kahdeksasta alkuperäisestä perustajasta yhdessä Bob Noycen kanssa.
"Bell Labs oli ponnistellut siellä ja ajatteli, että tämän kanssa oli mahdotonta työskennellä, joten he eivät koskaan harjoittaneet sitä. Bob [Noyce] ja minä työskentelimme Kodakin kanssa, ja he antoivat meille parhaat vastukset, joita heillä oli tuolloin, ja meillä oli vähitellen heidän kanssaan työsuhde, joka parani jatkuvasti.
"Oli paljon teknisiä ongelmia ja teknisiä takaiskuja, mutta sanoimme vain, että aiomme käyttää tätä ja meidän on saatava se toimimaan - ja teimme."
1960-luvulla kontaktimaskin kohdistustajia käytettiin kiekkotulostukseen, mm Kulicke & Soffa ensimmäinen, joka esitteli ne kaupallisesti. Myöhemmin Kasper Instrumentsista tuli hallitseva toimittaja, mutta kun kolme entistä Kasperin insinööriä perustivat oman yrityksen nimeltä Cobilt – ja bostonilainen CAD-jätti Computervision osti sen vuonna 1972 – syntyi uusi paradigma kiekkotulostukseen.
”Cobilt teki mekaanisia kohdistuslaitteita, jotka painoivat puolijohdekiekkoon jonkin verran ylivoimaisella tekniikalla ajan tasalla. Ja Computervisionilla oli automaattinen kohdistuspaketti, jonka avulla voit kohdistaa kerrokset tarkemmin”, sanoi Sam Harrell, joka muutti Computervisonista länsirannikolle Cobiltin suunnittelujohtajaksi.
”Myyimme satoja koneita ympäri maailmaa. Se todella hallitsi, kunnes projektiotulostimien aikakausi tuli hallitsevaksi.
Ed Segal, joka myi kohdistuslaitteita Kasperilla ennen Cobiltiin tuloaan, näki, kuinka Cobilt menetti johtoasemansa, kun Perkin-Elmer kehitti projisointimaskin kohdistuslaitteen.
"Kun maskin suuntaaja siirtyi seuraavaan vaiheeseen kontaktimaskin kohdistuksesta ns. projektiosuuntaajaksi tai maskin kuvan projisoimiseksi kiekkoon, Perkin-Elmer tuli ehdottomasti mukaan ja otti markkinat haltuunsa", Segal sanoi. . "Cobilt yritti rakentaa sellaisen, ja se oli todella suuri epäonnistuminen. Ja lopulta yritys myytiin Applied Materialsille vuonna 1981.
Jim Gallagher johti puolijohdelaitteiden liiketoimintaa GCA:ssa, joka oli maailman johtava litografiassa ennen kuin luovutti markkinat japanilaisille yrityksille 1980-luvulla. Podcastissa hän kertoo yrityksen mahdollisesta kuolemasta sen jälkeen, kun japanilaisista toimittajista, kuten Nikonista ja Canonista, tuli markkinajohtajia.
”Aloimme myydä toimintoja parhaamme mukaan. Mutta kun olet menossa alamäkeen, niin sanotusti, se ei ole aika aloittaa myyntiä, koska mitä teet on, kaikki tietävät ongelmasi ja he aikovat antaa alhaisimmat, halvimmat hinnat. Joten se oli liukumme alku", Gallagher sanoi.
1980-luvun lopulla japanilaisten stepper-toimittajien hallitseva asema oli huolenaihe amerikkalaisille siruvalmistajille. Vaihtoehtoisen lähteen kehittämiseksi Intel työskenteli eurooppalaisen Censorin kanssa. Yritys kuitenkin epäonnistui ja Censor myytiin Perkin-Elmerille vuonna 1984.
Intelin perustaja Gordon Moore muistelee huolen tuolloin. ”Canonista ja Nikonista tulivat suuret stepperit. Yhdysvalloissa ei ollut vastaavaa laitetta, ja se oli niin kriittinen osa koko prosessia.
"Meillä oli liechtensteinilaisen yrityksen [Censor] kanssa suuri ohjelma stepperin valmistamiseksi. Erittäin hienostunut, mutta myös erittäin kallis, ja kehitys oli liian hidasta, jotta ne todella vaikuttaisivat markkinoihin. Päädyimme ostamaan japanilaisia laitteita, koska se oli parasta saatavilla olevaa, eikä sille oikeastaan ollut vaihtoehtoista lähdettä.
Shoichiro Yoshida, josta tuli myöhemmin Nikonin toimitusjohtaja, suunnitteli yrityksen ensimmäisen askel- ja toistokameran puolijohteiden valmistukseen. Kuuntele podcastissa hänen kuvailevan (englanniksi) Stepperien varhaista kehitystä Nikonissa.
1990-luvulla SVG laajeni litografiaan juuri nimitetyn toimitusjohtajan Papken Der Torossianin johdolla. SVG oli yrittänyt ostaa GCA:ta, mutta kauppa ei toteutunut, ja GCA myytiin General Signalille vuonna 1988.
Der Torossian onnistui kuitenkin hankkimaan seuraavan sukupolven askel- ja skannausjärjestelmän, Micrascanin, jonka Perkin-Elmer on kehittänyt yhdessä IBM:n kanssa – mutta hän sanoi, että se vaati kymmeniä miljoonia t&k-työtä ja kaksi ja puoli vuotta. korjata järjestelmän vikoja. Tuloksena oli Micrascan II.
”Kone, joka heillä oli ollut, ei toiminut – vian välillä oli keskimäärin alle tunti. IBM ei voinut käyttää sitä. Mutta siinä oli erittäin hyvä perustekniikka”, hän sanoi.
Der Torrossian selittää, kuinka käteisen puute johti hukkaan tilaisuuteen pitää edistynyt litografia Yhdysvalloissa.
”Vuonna 92 ASML vuoti verta. Philips omisti ne ja tuli luokseni ostamaan ASML:n 60 miljoonalla dollarilla. Minulla ei ollut 60 miljoonaa dollaria. Sanoin heille: "Annan teille yhtä monta osaketta, joten perustetaan yhteisyritys." He sanoivat: "Ei, Philips tarvitsee käteistä."
Vuoteen 2001 mennessä ASML oli kääntänyt liiketoiminnan ja päätyi ostamaan SVG:n – viimeisen suuren yhdysvaltalaisen litografiayrityksen – 1.6 miljardilla dollarilla. Kauppa viivästyi useita kuukausia kansallisen turvallisuussyistä, mutta lopulta George W. Bushin hallinto hyväksyi sen ASML:n suostuttua myymään SVG:n Tinsley Labs -yksikön.
Chip Warriors -podcast-sarja, jonka on kirjoittanut ja tuottanut Craig Addison, perustuu SEMI:n suullisen historian haastatteluihin, joita hän teki vuosina 2004-2008. Haastatteluja on käytetty podcastiin liittymättömän SEMI:n lisenssillä.
Litografian pioneerit on kuvattu tässä SEMI:n vuonna 1980 tilaamassa maalauksessa. Vasemmalta Perkin-Elmerin projektiomaskin suuntauksen takana oleva tiimi (Abe Offner, Jere Buckley, David Markel ja Harold Hemstreet) ja oikealla Burt Wheeler, David W. Mann Co:n valokuvatoistimen pääkeksijä.
Jaa tämä viesti: Lähde: https://semiwiki.com/lithography/304384-losing-lithography-how-the-us-invented-then-lost-a-critical-chipmaking-process/
- &
- Tili
- Kaikki
- Amerikkalainen
- keskuudessa
- noin
- Soittokello
- PARAS
- Miljardi
- Boeing
- Bugs
- rakentaa
- liiketoiminta
- Ostetaan
- Ostaminen
- CAD
- kassa
- toimitusjohtaja
- siru
- Perustaja
- mukana perustamassa
- tuleva
- Yritykset
- yritys
- päivä
- sopimus
- kehittää
- Kehitys
- DID
- Varhainen
- Tekniikka
- Engineers
- Englanti
- laitteet
- Eurooppalainen
- Epäonnistuminen
- Etunimi
- Korjata
- general
- Yrjö
- hyvä
- Ryhmä
- historia
- Miten
- HTTPS
- Sadat
- IBM
- kuva
- Vaikutus
- Intel
- Haastattelut
- IT
- yhteisyritys
- Labs
- johtaa
- Led
- Lisenssi
- Koneet
- merkittävä
- valmistaja
- valmistus
- markkinat
- naamio
- tarvikkeet
- miljoona
- kk
- kansallinen turvallisuus
- Operations
- Tilaisuus
- tilata
- Muuta
- maalaus
- paradigma
- Philips
- podcast
- puheenjohtaja
- Pääasiallinen
- valmistettu
- Ohjelma
- T & K-
- turvallisuus
- Myydään
- Puoliperävaunu
- puolijohde
- takaiskuja
- osakkeet
- Silicon Valley
- So
- myyty
- Vaihe
- Alkaa
- alkoi
- onnistunut
- toimittajat
- järjestelmä
- Tekninen
- Elektroniikka
- maailma
- aika
- us
- hanke
- Varapresidentti
- W
- Länsi
- KUKA
- Referenssit
- maailman-
- vuotta
- youtube