マスクレス リソグラフィ用の DLP プリンタからのマイクロミラー デバイスの評価

[Nemo Andrea] は、デジタル マイクロミラー デバイス (DMD) を使用してマスクレス リソグラフィ システムを作成するというアイデアに触発され、Anycubic Photon Ultra、DLP、および樹脂ベースの 3D プリンターに引き裂きました。 見てみる そのプロジェクター システムで。 Anycubic はいわゆる「光学エンジン」のメーカーではありません。 eViewTekのD2 プロジェクターとその兄弟。 このプロジェクター アセンブリ自体は、Ti DLP300s をベースにしています。 少し前にカバーした 新品の時。 それ以来、Anycubic は、これらの光学エンジンに基づく Photon Ultra および Photon D2 3D プリンターをリリースしました。

[Nemo] が指摘するように、リソグラフィに DMD を使用することは新しいことではありません。 μMLAシステム ハイデルベルグシステムズによる。 新しいのは、自由に入手でき、手頃な価格の DMD (3D プリンターを犠牲にする必要がある場合でも) を使用して光学エンジンを取得し、商用の「見積もりについてはお問い合わせください」オプションよりも手頃な価格のリソグラフィプラットフォームを作成することです。

挑戦的なプロジェクトであることは間違いありませんが、手頃な価格の DLP 3D プリンターを使用することの良い副作用は、DMD が以前よりもはるかにアクセスしやすくなったことです。 [Nemo] のこの努力が成功することを願っています。マスクレス リソグラフィ マシンは、私たちが待ち望んでいた愛好家のツールセットに追加されることは間違いありません。

(ヒントをくれたジェリーに感謝)

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• 情報源： https://hackaday.com/2023/03/04/assessing-the-micromirror-device-from-a-dlp-printer-for-maskless-lithography-duty/