日立ハイテクが検出感度を向上させたAFM100Pro高感度走査型プローブ顕微鏡システムを発表

東京、28年2022月100日–（JCN Newswire）– Hitachi High-Tech Corporationは本日、ハイエンド走査型プローブ顕微鏡（AFM（1）/ SPM（2））であるAFMXNUMXPro高感度走査型プローブ顕微鏡システムの発売を発表しました。 ）新開発の高感度光学ヘッドを搭載し、物理特性測定時の感度を向上させ、原子・分子スケールでの測定を可能にします。

先端機能材料の研究開発の分野では、高感度の測定・分析装置の開発が強く求められています。 AFM100 Proは、オンサイト分析の要件を満たし、顧客の問題の解決に貢献します。

AFMの概要

AFMは、直径がわずか数ナノメートル（3）の先端を持つプローブを使用して、サンプルの表面をスキャンする測定および分析デバイスの一種です。 AFMは、サンプル表面をナノスケールで視覚化すると同時に、物理的特性の評価を実行できます。 AFMは、半導体、ポリマー、生物医学など、幅広い業界の研究開発と品質管理に使用されています。 Hitachi High-Techは、ユーザーフレンドリーなAFMデバイスを幅広く提供しており、AFM測定プロセスを簡素化し、オペレーターによるデータの変動を防ぐことで、これらのデバイスの信頼性を常に向上させてきました。

AFM100プロ開発の背景

近年、高度な機能材料の開発は、カーボンニュートラル、AIとIoT、EV、5G、およびパワーデバイスを含むデジタルトランスフォーメーション（DX）の開発を促進するために、ナノスケールエンジニアリングに焦点を合わせています。 新しい機能性材料がより小さく、より薄く、より有機的になるにつれて、材料表面の物理的特性の微視的変化およびわずかな変化を測定する際の感度を改善する要求が高まっています。

AFM100Proの機能

これらの課題に対応するため、日立ハイテクが開発したAFM100 Proは、光熱励起を利用した新開発の高感度光学ヘッドを搭載し、物性測定や原子・分子スケールでの測定感度を向上させています。

この製品の主な機能は次のとおりです。

1.高感度光学ヘッドにより物性測定時の感度向上

新開発の高感度光学ヘッドは、カンチレバー変位検出のノイズレベルを低減し、検出感度を最適化します。
また、光を利用してカンチレバーを励起する光熱励起機能（IR-Drive）により、カンチレバーの発振振幅をサブnmオーダーで安定して制御することができます。 これにより、液体で観察する際の高解像度測定が可能になります。

2.同じ場所での物性の高感度測定とSEM観察による高度な相関分析

ノイズレベルを大幅に低減した高感度光学ヘッドにより、ノイズが比較的高いため従来の光学ヘッドでは観察できなかった物性の微妙な違いを検出することができます。 オプションのAFMマーキング機能により、SEM（4）と同じ位置を簡単に観察できるため、物性情報の微妙な違いの背後にある要因の特定に大きく貢献します。

3.スケーラブルで耐久性

標準のAFM100モデルとAFM100Plusは、どちらもAFM100Proにアップグレードできます。 たとえば、予算にやさしいAFM100から始めて、より高いレベルの分析が必要な場合は、後でAFM100Proにアップグレードできます。 また、セルフチェック機能を標準装備し、長期間の機器の信頼性を確保しています。

日立ハイテクは、お客様とともに社会問題を解決するための観察・計測・分析に取り組み、最先端の製造に貢献しながら、この製品のような革新的なソリューションをタイムリーに提供していきます。

（1）AFM：原子間力顕微鏡
（2）SPM：走査型プローブ顕微鏡
（3）ナノメートル：XNUMXナノメートル=XNUMX万分のXNUMXミリメートル
（4）SEM：走査型電子顕微鏡

日立ハイテクについて

日本の東京に本社を置く日立ハイテクは、臨床分析装置、バイオテクノロジー製品、分析機器、半導体製造装置、分析装置の製造と販売を含む幅広い分野で活動を行っています。 社会・産業インフラやモビリティなどの分野で高付加価値のソリューションを提供します。2021年度の同社の連結売上高は約576.8億円でした。 5.1億円[XNUMX億米ドル]。 詳細については、次のWebサイトをご覧ください。 http://www.hitachi-hightech.com/global/


Copyright 2022JCNNewswire。 全著作権所有。 www.jcnnewswire.comHitachi High-Tech Corporationは本日、感度を向上させる新開発の高感度光学ヘッドを搭載したハイエンド走査型プローブ顕微鏡（AFM / SPM）であるAFM100Pro高感度走査型プローブ顕微鏡システムの発売を発表しました。物理的特性を測定する場合、原子および分子スケールでの測定を可能にします。

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