Litografia jest prawdopodobnie najważniejszym etapem w produkcji półprzewodników. Dzisiejsze najnowocześniejsze skanery EUV to niezwykle złożone maszyny, które kosztują tyle, co nowy odrzutowiec Boeing.
Od skromnych początków w 1984 r. jako spółka joint venture z firmą Philips, firma ASML stała się drugim co do wielkości producentem sprzętu do chipów na świecie i jedynym dostawcą maszyn EUV.
„Zagubiona litografia”, odcinek serii podcastów The Chip Warriors, zawiera relację z pierwszej ręki o tym, jak Stany Zjednoczone wynalazły, a następnie utraciły tę kluczową część procesu wytwarzania chipów. Odcinek powstał na podstawie wywiadów między innymi z pionierami Fairchild Semiconductor, Davidem W Mann Co, Cobilt, GCA, Nikon i Silicon Valley Group (SVG).
Wczesne próby drukowania obrazów na płytkach krzemowych podjęto w Bell Labs w połowie lat pięćdziesiątych. Później w tej dekadzie Fairchild ulepszył proces w celu wytworzenia tranzystorów.
„Zdecydowaliśmy się zastosować fotorezyst, aby wytyczyć obszary” – powiedział Jay Last, jeden z ośmiu pierwotnych współzałożycieli Fairchild, wraz z Bobem Noyce’em.
„Firma Bell Labs poczyniła tam pewne wysiłki i uznała, że praca z tym czymś jest po prostu niemożliwa, więc nigdy się tym nie zajęła. Bob [Noyce] i ja pracowaliśmy z firmą Kodak, a oni dali nam najlepsze fotorezystory, jakie mieli w tamtym czasie i stopniowo nawiązaliśmy z nimi współpracę roboczą, która stale się poprawiała.
„Wystąpiło wiele problemów technicznych i niepowodzeń technicznych, ale po prostu powiedzieliśmy, że będziemy z tego korzystać i musimy sprawić, aby to zadziałało – i tak się stało”.
W latach 1960. XX wieku do drukowania płytek używano nakładki do masek kontaktowych Kulickego i Soffy jako pierwszy wprowadził je na rynek. Później firma Kasper Instruments stała się dominującym dostawcą, ale kiedy trzech byłych inżynierów Kasper założyło własną firmę o nazwie Cobilt — i została ona przejęta przez bostońskiego giganta CAD Computervision w 1972 r. — wyłonił się nowy paradygmat drukowania płytek.
„Cobilt wyprodukował mechaniczne nakładki, które drukowały płytki półprzewodnikowe, stosując nieco lepszą technologię niż ówczesne standardy. Firma Computervision posiadała pakiet automatycznego wyrównywania, który umożliwiał dokładniejsze wyrównywanie warstw” – powiedział Sam Harrell, który przeniósł się z Computervison na Zachodnie Wybrzeże, aby objąć stanowisko wiceprezesa ds. inżynierii w firmie Cobilt.
„Sprzedaliśmy setki maszyn na całym świecie. To rzeczywiście panowało, dopóki nie dominowała epoka drukarek projekcyjnych”.
Ed Segal, który przed dołączeniem do firmy Cobilt sprzedawał nakładki w firmie Kasper, widział, jak firma Cobilt straciła przewagę, gdy firma Perkin-Elmer opracowała nakładki do masek projekcyjnych.
„Kiedy urządzenie do wyrównywania masek przeszło kolejny etap, od nastawiania masek kontaktowych do tak zwanego nastawiania projekcyjnego, czyli wyświetlania obrazu maski na płytce, firma Perkin-Elmer po prostu wkroczyła i przejęła ten rynek” – powiedział Segal . „Cobilt próbował taki zbudować i była to naprawdę bardzo duża porażka. Ostatecznie w 1981 roku firma została sprzedana firmie Applied Materials.
Jim Gallagher prowadził działalność związaną ze sprzętem półprzewodnikowym w firmie GCA, która była światowym liderem w dziedzinie litografii, zanim w latach 1980. przekazała rynek japońskim firmom. W podcaście opowiada o ostatecznym upadku firmy po tym, jak japońscy dostawcy, tacy jak Nikon i Canon, stali się liderami na rynku.
„Zaczęliśmy wyprzedawać działalność najlepiej jak potrafiliśmy. Ale kiedy, że tak powiem, spadasz w dół, nie jest to czas na rozpoczęcie sprzedaży, ponieważ to, co robisz, polega na tym, że wszyscy znają Twój problem i zaoferują najniższe, najniższe ceny. I to był początek naszego poślizgu” – powiedział Gallagher.
Pod koniec lat 1980. dominacja japońskich dostawców stepperów była zmartwieniem amerykańskich producentów chipów. Próbując opracować alternatywne źródło, Intel współpracował z europejską firmą Censor. Jednak wysiłek się nie powiódł i Censor został sprzedany firmie Perkin-Elmer w 1984 roku.
Współzałożyciel Intela, Gordon Moore, wspomina ówczesne obawy. „Wielcy stepperzy wyszli z firm Canon i Nikon. W USA nie było porównywalnego sprzętu, a to była kluczowa część całego procesu.
„Wspólnie z firmą Censor z Liechtensteinu realizowaliśmy duży program mający na celu stworzenie steppera. Bardzo wyrafinowane, ale też bardzo drogie, a rozwój postępował zbyt wolno, aby naprawdę wywarły wpływ na rynek. Skończyło się na tym, że kupiliśmy japoński sprzęt, ponieważ był najlepszy z dostępnych, a tak naprawdę nie było dla niego alternatywnego źródła”.
Shoichiro Yoshida, który później został dyrektorem generalnym firmy Nikon, zaprojektował pierwszy aparat firmy Nikon typu „krok i powtarzanie” do produkcji półprzewodników. W podcaście możesz usłyszeć, jak opisuje (po angielsku) początki rozwoju stepperów w firmie Nikon.
W 1990s, Pod kierownictwem nowo mianowanego dyrektora generalnego Papkena Der Torossiana firma SVG rozszerzyła swoją działalność na litografię. SVG próbował kupić GCA, ale transakcja nigdy nie doszła do skutku, a GCA została sprzedana firmie General Signal w 1988 roku.
Jednakże Der Torossianowi udało się nabyć system nowej generacji typu „krok i skanowanie” Micrascan, opracowany przez Perkina-Elmera we współpracy z IBM, ale stwierdził, że wymaga to dziesiątek milionów prac badawczo-rozwojowych oraz dwóch i pół roku, aby naprawić błędy w systemie. W rezultacie powstał Micrascan II.
„Maszyna, którą mieli, nie działała – średni czas między awariami wynosił mniej niż godzinę. IBM nie mógł z tego skorzystać. Ale miał bardzo dobrą podstawową technologię” – powiedział.
Der Torrossian wyjaśnia, w jaki sposób brak gotówki doprowadził do stracenia szansy na utrzymanie zaawansowanej litografii w USA.
„W '92 ASML krwawił. Philips był ich właścicielem i przyszedł do mnie, aby kupić ASML za 60 milionów dolarów. Nie miałem 60 milionów dolarów. Powiedziałem im: „Dam wam taką samą liczbę udziałów, więc załóżmy wspólne przedsięwzięcie”. Powiedzieli: „Nie, Philips potrzebuje gotówki”.
W 2001 roku ASML zmienił kierunek działalności i ostatecznie kupił SVG – ostatnią dużą amerykańską firmę litograficzną – za 1.6 miliarda dolarów. Transakcja została opóźniona o kilka miesięcy ze względów bezpieczeństwa narodowego, ale ostatecznie została zatwierdzona przez administrację George'a W. Busha po tym, jak ASML zgodził się zbyć jednostkę SVG Tinsley Labs.
Seria podcastów Chip Warriors, napisany i wyprodukowany przez Craiga Addisona, opiera się na ustnych wywiadach SEMI, które przeprowadził w latach 2004–2008. Wywiady wykorzystano na podstawie licencji firmy SEMI, która nie jest powiązana z podcastem.
Na tym obrazie zamówionym przez SEMI w 1980 roku przedstawiono pionierów litografii. Od lewej zespół odpowiedzialny za urządzenie do wyrównywania masek projekcyjnych Perkina-Elmera (Abe Offner, Jere Buckley, David Markel i Harold Hemstreet), a po prawej: Burt Wheeler, główny wynalazca fotoregeneratora w firmie David W. Mann Co.
Udostępnij ten post przez: Źródło: https://semiwiki.com/lithography/304384-losing-lithography-how-the-us-invented-then-lost-a-critical-chipmaking-process/
- &
- Konto
- Wszystkie kategorie
- amerykański
- wśród
- na około
- Dzwon
- BEST
- Miliard
- Boeing
- błędy
- budować
- biznes
- kupować
- Zakup
- CAD
- Gotówka
- ceo
- żeton
- Współzałożyciel
- współzałożyciele
- przyjście
- Firmy
- sukcesy firma
- dzień
- sprawa
- rozwijać
- oprogramowania
- ZROBIŁ
- Wcześnie
- Inżynieria
- Inżynierowie
- Angielski
- sprzęt
- europejski
- Brak
- i terminów, a
- Fix
- Ogólne
- George
- dobry
- Zarządzanie
- historia
- W jaki sposób
- HTTPS
- Setki
- IBM
- obraz
- Rezultat
- Intel
- Wywiady
- IT
- joint venture
- Labs
- prowadzić
- Doprowadziło
- Licencja
- maszyny
- poważny
- producent
- produkcja
- rynek
- maska
- materiały
- milion
- miesięcy
- bezpieczeństwo narodowe
- operacje
- Okazja
- zamówienie
- Pozostałe
- malarstwo
- paradygmat
- Philips
- Podcast
- prezydent
- Główny
- Wytworzony
- Program
- R & D
- bezpieczeństwo
- sprzedać
- Pół
- Semiconductor
- Niepowodzenia
- Akcje
- Silicon Valley
- So
- sprzedany
- STAGE
- początek
- rozpoczęty
- udany
- dostawcy
- system
- Techniczny
- Technologia
- świat
- czas
- us
- przedsięwzięcie
- Wiceprezes
- W
- Zachód
- KIM
- Praca
- świat
- lat
- youtube