การพิมพ์หินถือเป็นขั้นตอนที่สำคัญที่สุดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เครื่องสแกน EUV ที่ล้ำสมัยในปัจจุบันเป็นเครื่องจักรที่ซับซ้อนอย่างเหลือเชื่อซึ่งมีราคาสูงเท่ากับเครื่องบินโบอิ้งรุ่นใหม่ของโบอิ้ง
จากจุดเริ่มต้นเล็กๆ ในปี 1984 ในฐานะบริษัทร่วมทุนกับฟิลิปส์ ASML ได้เติบโตขึ้นจนกลายเป็นผู้ผลิตอุปกรณ์ชิปรายใหญ่เป็นอันดับสองของโลก และเป็นผู้จัดจำหน่ายเครื่องจักร EUV เพียงรายเดียว
“ การสูญเสียการพิมพ์หิน”, ตอนหนึ่งในซีรีส์พอดคาสต์ The Chip Warriorsให้ข้อมูลเบื้องต้นเกี่ยวกับวิธีที่สหรัฐฯ คิดค้น แล้วสูญเสีย ส่วนสำคัญของกระบวนการผลิตชิปนี้ ตอนนี้อิงจากการสัมภาษณ์ผู้บุกเบิกที่ Fairchild Semiconductor, David W Mann Co, Cobilt, GCA, Nikon และ Silicon Valley Group (SVG) และอื่นๆ อีกมากมาย
ความพยายามในการพิมพ์ภาพลงบนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนในช่วงต้นได้ดำเนินการที่ Bell Labs ในช่วงกลางทศวรรษ 1950 ต่อมาในทศวรรษนั้น แฟร์ไชลด์ได้ปรับปรุงกระบวนการเพื่อผลิตทรานซิสเตอร์
“เราตัดสินใจที่จะใช้การต่อต้านด้วยภาพถ่ายเพื่อกำหนดพื้นที่” Jay Last หนึ่งในแปดผู้ก่อตั้งดั้งเดิมของ Fairchild พร้อมด้วย Bob Noyce กล่าว
“Bell Labs ได้ใช้ความพยายามบางอย่างที่นั่นและคิดว่านี่เป็นไปไม่ได้ที่จะทำงานด้วย ดังนั้นพวกเขาจึงไม่ไล่ตามมัน Bob [Noyce] และฉันทำงานร่วมกับ Kodak และพวกเขาให้การต่อต้านที่ดีที่สุดที่พวกเขามีในขณะนั้น และเราค่อยๆ มีความสัมพันธ์ในการทำงานกับพวกเขาที่ต่อต้านการพัฒนาอย่างต่อเนื่อง
“มีปัญหาทางเทคนิคมากมายและความพ่ายแพ้ทางเทคนิค แต่เราเพิ่งบอกว่าเราจะใช้สิ่งนี้และเราจะต้องทำให้มันใช้งานได้ - และเราก็ทำได้”
ในทศวรรษที่ 1960 อุปกรณ์จัดตำแหน่งมาสก์หน้าสัมผัสถูกใช้สำหรับการพิมพ์เวเฟอร์ด้วย Kulicke & Soffa เป็นคนแรกที่แนะนำพวกเขาในเชิงพาณิชย์ ต่อมา Kasper Instruments กลายเป็นซัพพลายเออร์รายใหญ่ แต่เมื่ออดีตวิศวกรของ Kasper สามคนก่อตั้งบริษัทของตัวเองขึ้นชื่อ Cobilt และถูกซื้อกิจการโดย Computervision ยักษ์ใหญ่ CAD ในเมืองบอสตันในปี 1972 กระบวนทัศน์ใหม่สำหรับการพิมพ์แผ่นเวเฟอร์จึงเกิดขึ้น
“Cobilt ได้สร้างเครื่องมือปรับแนวกลที่พิมพ์แผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ด้วยเทคโนโลยีที่เหนือชั้นกว่ามาตรฐานของวัน และ Computervision มีแพ็คเกจการจัดตำแหน่งอัตโนมัติซึ่งจะช่วยให้คุณจัดตำแหน่งเลเยอร์ได้อย่างแม่นยำมากขึ้น” แซม ฮาร์เรลล์ ผู้ย้ายจากคอมพิวเตอร์วิสันไปยังชายฝั่งตะวันตก เพื่อเป็นรองประธานฝ่ายวิศวกรรมของโคบิลต์ กล่าว
“เราขายเครื่องจักรหลายร้อยเครื่องทั่วโลก มันครองราชย์จริง ๆ จนกระทั่งช่วงเวลาของเครื่องพิมพ์ฉายภาพกลายเป็นที่โดดเด่น”
Ed Segal ซึ่งขายเครื่องมือจัดฟันที่ Kasper ก่อนร่วมงานกับ Cobilt เห็นว่า Cobilt สูญเสียความเป็นผู้นำไปได้อย่างไรเมื่อ Perkin-Elmer พัฒนาเครื่องมือจัดตำแหน่งหน้ากากแบบฉายภาพ
“เมื่อเครื่องปรับแนวหน้ากากไปที่ขั้นต่อไปจากเครื่องปรับแนวหน้ากากติดต่อไปยังสิ่งที่เรียกว่าเครื่องจัดตำแหน่งภาพฉายหรือฉายภาพหน้ากากบนแผ่นเวเฟอร์ Perkin-Elmer เพิ่งเข้ามาและเข้ายึดครองตลาดนั้น" Segal กล่าว . “โคบิลต์พยายามสร้างมันขึ้นมา และมันก็เป็นความล้มเหลวครั้งใหญ่จริงๆ และในที่สุดบริษัทก็ถูกขายให้กับ Applied Materials ในปี 1981”
Jim Gallagher ดำเนินธุรกิจอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่ GCA ซึ่งเป็นผู้นำระดับโลกด้านการพิมพ์หินก่อนที่จะยกตลาดให้กับบริษัทญี่ปุ่นในช่วงทศวรรษ 1980 ในพอดคาสต์ เขาเล่าถึงการล่มสลายของบริษัทในที่สุดหลังจากที่ซัพพลายเออร์ของญี่ปุ่นอย่าง Nikon และ Canon กลายเป็นผู้นำตลาด
“เราเริ่มขายกิจการออกให้ดีที่สุดเท่าที่จะทำได้ แต่เมื่อคุณกำลังจะตกต่ำ พูดตรงๆ นั่นไม่ใช่เวลาที่จะเริ่มขาย เพราะสิ่งที่คุณทำคือ ทุกคนรู้ปัญหาของคุณดี และพวกเขาจะเสนอราคาที่ต่ำที่สุดและต่ำที่สุด นั่นคือจุดเริ่มต้นของสไลด์ของเรา” กัลลาเกอร์กล่าว
ในช่วงปลายทศวรรษ 1980 การครอบงำของซัพพลายเออร์สเต็ปเปอร์ของญี่ปุ่นสร้างความกังวลให้กับผู้ผลิตชิปชาวอเมริกัน ในความพยายามที่จะพัฒนาแหล่งอื่น Intel ได้ทำงานร่วมกับ Censor ซึ่งเป็นบริษัทในยุโรป อย่างไรก็ตาม ความพยายามล้มเหลวและ Censor ถูกขายให้กับ Perkin-Elmer ในปี 1984
Gordon Moore ผู้ร่วมก่อตั้งของ Intel เล่าถึงข้อกังวลในขณะนั้น “ก้าวสำคัญออกมาจาก Canon และ Nikon ไม่มีอุปกรณ์ใดเทียบเคียงได้ในสหรัฐอเมริกา และนั่นเป็นส่วนสำคัญของกระบวนการทั้งหมด
“เรามีโครงการสำคัญกับบริษัทลิกเตนสไตน์ [เซ็นเซอร์] เพื่อสร้างสเต็ปเปอร์ ซับซ้อนมากแต่ก็มีราคาแพงมาก และการพัฒนาก็ช้าเกินไปสำหรับพวกเขาที่จะสร้างผลกระทบต่อตลาดจริงๆ เราลงเอยด้วยการซื้ออุปกรณ์ของญี่ปุ่นเพราะเป็นอุปกรณ์ที่ดีที่สุด และไม่มีแหล่งอื่นสำหรับสิ่งนั้น”
โชอิจิโร โยชิดะ ซึ่งต่อมาได้กลายเป็น CEO ของ Nikon ในเวลาต่อมา ได้ออกแบบกล้องทีละขั้นตอนและทำซ้ำตัวแรกของบริษัทสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ในพอดแคสต์ ฟังเขาพูดบรรยาย (เป็นภาษาอังกฤษ) พัฒนาการช่วงแรกๆ ของ steppers ที่ Nikon
ใน 1990s, SVG ขยายไปสู่การพิมพ์หินภายใต้ CEO Papken Der Torossian ที่เพิ่งได้รับแต่งตั้งใหม่ SVG พยายามซื้อ GCA แต่ข้อตกลงไม่เคยเกิดขึ้นจริง และ GCA ถูกขายให้กับ General Signal ในปี 1988
อย่างไรก็ตาม Der Torossian ประสบความสำเร็จในการจัดหาระบบขั้นตอนและการสแกนรุ่นใหม่อย่าง Micrascan ซึ่งพัฒนาโดย Perkin-Elmer โดยร่วมมือกับ IBM แต่เขากล่าวว่าต้องใช้ R&D หลายสิบล้านในการวิจัยและพัฒนาและสองปีครึ่ง แก้ไขข้อผิดพลาดในระบบ ผลที่ได้คือ Micrascan II
“เครื่องที่พวกเขาใช้ไม่ได้ผล — มีค่าเฉลี่ยระหว่างความล้มเหลวน้อยกว่าหนึ่งชั่วโมง ไอบีเอ็มใช้ไม่ได้ แต่มีเทคโนโลยีพื้นฐานที่ดีมาก” เขากล่าว
Der Torrossian อธิบายว่าการขาดแคลนเงินสดนำไปสู่โอกาสที่พลาดไปในการรักษาการพิมพ์หินขั้นสูงในสหรัฐอเมริกาได้อย่างไร
“ในปี 92 ASML มีเลือดออก ฟิลิปส์เป็นเจ้าของและมาหาฉันเพื่อซื้อ ASML ในราคา 60 ล้านดอลลาร์ ฉันไม่ได้มีเงิน 60 ล้านเหรียญ ฉันบอกพวกเขาว่า 'ฉันจะให้หุ้นคุณเท่าๆ กัน ดังนั้นเรามาร่วมทุนกัน' พวกเขากล่าวว่า 'ไม่ ฟิลิปส์ต้องการเงินสด'”
ภายในปี 2001 ASML ได้พลิกโฉมธุรกิจ และจบลงด้วยการซื้อ SVG ซึ่งเป็นบริษัทพิมพ์หินรายใหญ่แห่งสุดท้ายในสหรัฐฯ ด้วยมูลค่า 1.6 พันล้านดอลลาร์ ข้อตกลงดังกล่าวล่าช้าไปหลายเดือนเนื่องจากความกังวลด้านความมั่นคงของประเทศ แต่ในที่สุดก็ได้รับการอนุมัติจากฝ่ายบริหารของ George W. Bush หลังจากที่ ASML ตกลงที่จะขายหน่วย Tinsley Labs ของ SVG
ซีรีส์พอดคาสต์ The Chip Warriorsเขียนและผลิตโดยเครก แอดดิสัน อิงจากการสัมภาษณ์ประวัติปากเปล่าของ SEMI ที่เขาดำเนินการระหว่างปี 2004 ถึง 2008 บทสัมภาษณ์นี้ใช้ภายใต้ใบอนุญาตจาก SEMI ซึ่งไม่มีส่วนเกี่ยวข้องกับพอดแคสต์
ผู้บุกเบิกการพิมพ์หินถูกบรรยายไว้ในภาพวาดนี้ซึ่งได้รับมอบหมายจาก SEMI ในปี 1980 จากซ้ายมือ ทีมงานที่อยู่เบื้องหลังการจัดตำแหน่งหน้ากากฉายภาพของ Perkin-Elmer (Abe Offner, Jere Buckley, David Markel และ Harold Hemstreet) และทางด้านขวา Burt Wheeler ผู้ประดิษฐ์หลักของเครื่องทำซ้ำภาพที่ David W. Mann Co.
แชร์โพสต์นี้ผ่าน: ที่มา: https://semiwiki.com/lithography/304384-losing-lithography-how-the-us-invented-then-lost-a-critical-chipmaking-process/
- &
- ลงชื่อเข้าใช้
- ทั้งหมด
- อเมริกัน
- ในหมู่
- รอบ
- ระฆัง
- ที่ดีที่สุด
- พันล้าน
- โบอิ้ง
- เป็นโรคจิต
- สร้าง
- ธุรกิจ
- ซื้อ
- การซื้อ
- ดอลลาร์แคนาดา
- เงินสด
- ผู้บริหารสูงสุด
- ชิป
- ผู้ร่วมก่อตั้ง
- ผู้ร่วมก่อตั้ง
- มา
- บริษัท
- บริษัท
- วัน
- จัดการ
- พัฒนา
- พัฒนาการ
- DID
- ก่อน
- ชั้นเยี่ยม
- วิศวกร
- ภาษาอังกฤษ
- อุปกรณ์
- ในทวีปยุโรป
- ความล้มเหลว
- ชื่อจริง
- แก้ไขปัญหา
- General
- จอร์จ
- ดี
- บัญชีกลุ่ม
- ประวัติ
- สรุป ความน่าเชื่อถือของ Olymp Trade?
- HTTPS
- ร้อย
- ไอบีเอ็ม
- ภาพ
- ส่งผลกระทบ
- อินเทล
- บทสัมภาษณ์
- IT
- บริษัท ร่วมทุน
- ห้องปฏิบัติการ
- นำ
- นำ
- License
- เครื่อง
- สำคัญ
- เครื่องชง
- การผลิต
- ตลาด
- หน้ากาก
- วัสดุ
- ล้าน
- เดือน
- ความมั่นคงของชาติ
- การดำเนินการ
- โอกาส
- ใบสั่ง
- ผลิตภัณฑ์อื่นๆ
- ภาพวาด
- ตัวอย่าง
- ฟิลิปส์
- พอดคาสต์
- ประธาน
- หลัก
- ผลิต
- โครงการ
- วิจัยและพัฒนา
- ความปลอดภัย
- ขาย
- กึ่ง
- สารกึ่งตัวนำ
- ความพ่ายแพ้
- หุ้น
- หุบเขาซิลิคอน
- So
- ขาย
- ระยะ
- เริ่มต้น
- ข้อความที่เริ่ม
- ที่ประสบความสำเร็จ
- ซัพพลายเออร์
- ระบบ
- วิชาการ
- เทคโนโลยี
- โลก
- เวลา
- us
- บริษัท ร่วมทุน
- Vice President
- W
- ตะวันตก
- WHO
- งาน
- โลก
- ปี
- YouTube